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      超净高纯试剂公司从事超净高纯试剂的研发、生产和销售近 20 年,是国内目前主要的超净高纯试剂企业之一。公司的超净高纯试剂水平先进,多款产品达到 G4 等级,其中超净高纯双氧水、超净高纯硫酸、超净高纯氨水三大类产品已实现整体技术突破,达到 G5 等级。

      - 超净高纯试剂

      半/导/体/制/程/用
      超高纯双氧水超高纯硫酸超高纯氨水

      符合:SEMI Grade5 标准

      适用于:14纳米以上集成电路加工工艺

      SEMI Grade5 For 14nm and further technology node

      产品信息详情

      PRODUCTION BASE
      品名产品应用
      双氧水广泛应用于半导体前道湿法清洗工艺,包括颗粒、金 属杂质和有机物残留的清洗
      硫酸应用于半导体前道光刻胶剥离和有机物残留的清洗
      氨水应用于半导体前道particle及polymer的清洗
      BOE应用于半导体前道氧化硅的湿法蚀刻工艺
      硝酸应用于半导体前道硅蚀刻液及晶圆回收清洗
      盐酸应用于半导体前道金属杂质的清洗去除
      TMAH应用于半导体前道光刻胶显影剂和硅减薄工艺

      高纯化学品目录

      HIGH PURITY ELECTRONIC CHEMICALS
      品名纯度级别UP-SSSUP-SSUP-SUPEL
      过氧化氢
      硫酸
      氨水
      异丙醇
      四甲基氢氧化氨
      盐酸
      硝酸
      氟化铵
      氢氟酸
      BOE
      N甲基吡咯烷酮
      无水乙醇
      冰醋酸
      甲醇
      乙酸丁酯
      丙酮
      草酸
      氢氧化钠
      氢氧化钾
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